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Size: 8793
Comment:
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Size: 10673
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| || |||| Items |||| O4a |||| June/30 |||| || || Corner 1F |||| Precision Cooler |||| o(19.00) |||| → |||| || || |||| Daikin Cooler MCF-C |||| x |||| → |||| || || |||| Daikin Cooler BS-C |||| x |||| o {*} |||| || || |||| Daikin Cooler SR-C |||| x |||| → |||| || || |||| Daikin Cooler IYC-C |||| x |||| → |||| || || |||| Ceiling Lights A |||| 1/2 |||| → |||| || || |||| Ceiling Lights B |||| 1/2 |||| → |||| || || |||| Ceiling Lights C |||| 1/1 |||| → |||| || || |||| Ceiling Lights IXC |||| 1/2 |||| → |||| || || |||| Ceiling Lights IXA |||| 1/1 |||| → |||| || || |||| Ceiling Lights IYC |||| 1/2 |||| → |||| || || |||| Ceiling Lights IYA |||| 1/1 |||| → |||| || || |||| Sunrise Heater BS |||| x |||| → |||| || || |||| Sunrise Heater SR2 |||| x |||| → |||| || || |||| Sunrise Heater OMC |||| x |||| → |||| || || |||| Sunrise Heater PR2 |||| x |||| → |||| || || |||| Sunrise Heater DGS |||| x |||| → |||| || || |||| Delonghi Heater MCF |||| o L2 |||| x {*} |||| || || |||| SR FFUs |||| ??/24 |||| → |||| || || |||| BS FFUs |||| ??/24 |||| → |||| || || |||| PR FFUs |||| ??/24 |||| → |||| || || |||| MCE FFUs |||| ??/24 |||| → |||| || |
|| Corner 1F |||| Items |||| O4a |||| 6/30 |||| 7/1: Cryocoolers Off |||| 7/6~7:FFU ON in OMC |||| 7/11 || || - cooler |||| Precision Cooler |||| o(19.00) |||| → |||| o(23.50) {*} |||| o(20.00) {*} |||| → || || |||| Daikin Cooler MCF-C |||| x |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| Daikin Cooler BS-C |||| x |||| o {*} |||| → |||| → |||| → || || |||| Daikin Cooler SR-C |||| x |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| Daikin Cooler IYC-C |||| x |||| → |||| → |||| → |||| → || || - light |||| Ceiling Lights A |||| 1/2 |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| Ceiling Lights B |||| 1/2 |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| Ceiling Lights C |||| 1/1 |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| Ceiling Lights IXC |||| 1/2 |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| Ceiling Lights IXA |||| 1/1 |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| Ceiling Lights IYC |||| 1/2 |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| Ceiling Lights IYA |||| 1/1 |||| → |||| → |||| → |||| → || || - heater |||| Sunrise Heater BS |||| x |||| → |||| o L1 {*} |||| x {*} |||| → || || |||| Sunrise Heater SR2 |||| x |||| → |||| o L1 {*} |||| x {*} |||| → || || |||| Sunrise Heater OMC |||| x |||| → |||| o L2 {*} |||| o L1 {*} |||| → || || |||| Sunrise Heater PR2 |||| x |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| Sunrise Heater DGS |||| x |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| Delonghi Heater MCF |||| o L2 |||| x {*} |||| → |||| → |||| → || || |||| Sunrise Heater EXC-A|||| o L3 |||| → |||| → |||| → |||| x {*} || || - ffu |||| SR FFUs |||| 03/?? |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| BS FFUs |||| 03/?? |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| PR FFUs |||| 04/?? |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| MCE FFUs |||| 01/16 |||| → |||| → |||| → |||| → || || - airdry |||| IXC-A Air Dryer |||| x |||| o {*} |||| → |||| → |||| → || || - Dehumid |||| Mitsubishi IYC-C |||| o |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| Mitsubishi BS-C |||| o |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| Airis DGS-1 |||| o |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| Airis DGS-2 |||| o |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| Nakatomi BS |||| o |||| → |||| → |||| → |||| → || |
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| || |||| Items |||| O4a |||| June/30 |||| || | || |||| Items |||| O4a |||| 6/30 |||| || |
| Line 41: | Line 48: |
| || |||| Items |||| O4a |||| June/30 |||| || || IXC |||| TMP/Scrolls |||| 3 x |||| 3 o {*} |||| || || |||| Ion Pump |||| 2 o |||| 2 x {*} |||| || || |||| Duct Shield Cooler |||| 2 o |||| 2 x {*} |||| || || |||| Radiation Shield Cooler |||| 2 x |||| → |||| || || |||| Payload Cooler |||| 2 x |||| → |||| || || |||| FFUs |||| ??/24 |||| → |||| || || |||| KAOCHs |||| zero |||| → |||| || |
|| |||| Items |||| O4a |||| 6/30 ||||7/3: Cryocoolers ON|| || IXC |||| TMP/Scrolls |||| 3 x |||| 3 o {*} |||| → || || |||| Ion Pump |||| 2 o |||| 2 x {*} |||| → || || |||| Duct Shield Cooler |||| 2 o |||| 2 x {*} |||| 2 o {*} || || |||| Radiation Shield Cooler |||| 2 x |||| → |||| → || || |||| Payload Cooler |||| 2 x |||| → |||| → || || |||| FFUs |||| ??/24 |||| → |||| → || || |||| KAOCHs |||| zero |||| → |||| → || |
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| || |||| Items |||| O4a |||| June/30 |||| || || IYC |||| TMP/Scrolls |||| 3 x |||| 3 o {*} |||| || || |||| Ion Pump |||| 2 o |||| 2 x {*} |||| || || |||| Duct Shield Cooler |||| 2 o |||| 2 x {*} |||| || || |||| Radiation Shield Cooler |||| 2 x |||| → |||| || |
|| |||| Items |||| O4a |||| 6/30 |||| 7/3: Cryocoolers ON || || IYC |||| TMP/Scrolls |||| 3 x |||| 3 o {*} |||| → || || |||| Ion Pump |||| 2 o |||| 2 x {*} |||| → || || |||| Duct Shield Cooler |||| 2 o |||| 2 x {*} |||| 2 o {*} || || |||| Radiation Shield Cooler |||| 2 x |||| → |||| → || |
| Line 56: | Line 63: |
| || |||| FFUs |||| ??/24 |||| → |||| || || |||| KAOCHs |||| zero |||| → |||| || |
|| |||| FFUs |||| ??/24 |||| → |||| → || || |||| KAOCHs |||| zero |||| → |||| → || |
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| || |||| Items |||| O4a |||| June/30 |||| || | || |||| Items |||| O4a |||| 6/30 |||| || |
| Line 61: | Line 68: |
| || |||| FFUs |||| ??/10 |||| → |||| || | || |||| FFUs |||| ??/10 |||| → |||| || |
| Line 63: | Line 70: |
| || |||| Items |||| O4a |||| June/30 |||| || | || |||| Items |||| O4a |||| 6/30 |||| || |
| Line 67: | Line 74: |
| || |||| Items |||| O4a |||| June/30 |||| || || IXV |||| Air conditioner |||| x (weak, 20C) |||| o (weak, 20C) {*} |||| || || |||| Delongho Heater |||| x |||| o L3 {*} |||| || || |||| Ceiling Lights |||| o |||| → |||| || || |||| TMP/Scrolls |||| x |||| o {*} |||| || || |||| Ion Pump |||| o |||| x {*} |||| || || |||| FFUs |||| 2 |||| → |||| || |
|| |||| Items |||| O4a |||| 6/30 |||| |||| 7/11 dehumidifier change|| || IXV |||| Air conditioner |||| x (weak, 20C) |||| o (weak, 20C) {*} |||| |||| → || || |||| Delongho Heater |||| x |||| o L4 {*} |||| |||| o L3 {*} || || |||| Ceiling Lights |||| o |||| → |||| |||| → || || |||| TMP/Scrolls |||| 1x |||| 1o {*} |||| |||| → || || |||| Ion Pump |||| 1o |||| 1x {*} |||| |||| → || || |||| FFUs |||| 2 |||| → |||| |||| → || || |||| Dehumidifier |||| o |||| → |||| |||| → || |
| Line 75: | Line 83: |
| || |||| Items |||| O4a |||| June/30 |||| || || IYV |||| Air conditioner |||| o (weak, 20C) |||| → |||| || || |||| Delongho Heater |||| o L4 |||| o L2 {*} |||| || || |||| Ceiling Lights |||| o |||| → |||| || || |||| TMP/Scrolls |||| x |||| o {*} |||| || || |||| Ion Pump |||| o |||| x {*} |||| || || |||| FFUs |||| 2 |||| → |||| || |
|| |||| Items |||| O4a |||| 6/30 |||| 7/1 |||| 7/4 |||| 7/10 |||| 7/11 || || IYV |||| Air conditioner |||| o (weak, 20C) |||| → |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| Delongho Heater |||| o L4 |||| o L2 {*} |||| o L1 {*} |||| o L2 {*} |||| x {*} |||| o L1 {*} || || |||| Ceiling Lights |||| o |||| → |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| TMP/Scrolls |||| x |||| o {*} |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| Ion Pump |||| o |||| x {*} |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| FFUs |||| 2 |||| → |||| → |||| → |||| → |||| → || || |||| Dehumidifier |||| o |||| → |||| → |||| → || |
| Line 91: | Line 100: |
| || EXC |||| TMP/Scrolls |||| 4 x |||| |||| || || |||| Ion Pump |||| 2 o |||| |||| || || |||| Duct Shield Cooler |||| 2 o |||| |||| || || |||| Radiation Shield Cooler |||| 2 o |||| |||| || || |||| Payload Cooler |||| 2 x |||| |||| || |
|| EXC |||| TMP/Scrolls |||| 4x |||| |||| || || |||| Ion Pump |||| 2o |||| |||| || || |||| Duct Shield Cooler |||| 2o |||| |||| || || |||| Radiation Shield Cooler |||| 2o |||| |||| || || |||| Payload Cooler |||| 2x |||| |||| || |
| Line 99: | Line 108: |
| || |||| Items |||| O4a |||| |||| || || EXA |||| TMP/Scrolls |||| 1x |||| |||| || || |||| Ion Pump |||| 1o |||| |||| || || |||| FFUs |||| ??/10 |||| |||| || || |||| Ceiling Lights |||| 1/1 |||| |||| || |
|| |||| Items |||| O4a |||| |||| || || EXA |||| TMP/Scrolls |||| 1x |||| |||| || || |||| Ion Pump |||| 1o |||| |||| || || |||| FFUs |||| ??/10 |||| |||| || || |||| Ceiling Lights |||| 1/1 |||| |||| || |
| Line 105: | Line 114: |
| || |||| Items |||| O4a |||| |||| || || EXV |||| Air conditioner |||| x |||| |||| || || |||| Delongho Heater |||| o L3 |||| |||| || || |||| Ceiling Lights |||| x |||| |||| || || |||| TMP/Scrolls |||| x |||| |||| || || |||| Ion Pump |||| o |||| |||| || || |||| FFUs |||| 1 |||| |||| || |
|| |||| Items |||| O4a |||| |||| || || EXV |||| Air conditioner |||| x |||| |||| || || |||| Delongho Heater |||| o L3 |||| |||| || || |||| Ceiling Lights |||| 0/1 |||| |||| || || |||| TMP/Scrolls |||| 1x |||| |||| || || |||| Ion Pump |||| 1o |||| |||| || || |||| FFUs |||| 1 |||| |||| || |
| Line 115: | Line 124: |
| || |||| Items |||| O4a |||| June/29 |||| || || EY 1F |||| Air conditioner |||| x |||| x |||| || || |||| Ceiling Lights |||| 1/1 |||| 1/1 |||| || || |||| Delonghi Heater 1 |||| o L5 |||| o L2 {*} |||| || || |||| Sunrise Heater 1 |||| o L3 |||| o L1 {*} |||| || || |||| Sunrise Heater 2 |||| o L3 |||| o L1 {*} |||| || |
|| |||| Items |||| O4a |||| 6/29 |||| 7/3 |||| 7/13 || || EY 1F |||| Air conditioner |||| x |||| x |||| → |||| → || || |||| Ceiling Lights |||| 1/1 |||| 1/1 |||| → |||| → || || |||| Delonghi Heater 1 |||| o L5 |||| o L2 {*} |||| o L1 {*} |||| o L2 {*} || || |||| Sunrise Heater 1 |||| o L3 |||| o L1 {*} |||| → |||| → || || |||| Sunrise Heater 2 |||| o L3 |||| o L1 {*} |||| → |||| → || |
| Line 122: | Line 131: |
| || |||| Items |||| O4a |||| June/29 |||| || || EYC |||| TMP/Scrolls |||| 4x |||| 3o, 1x {*} |||| || || |||| Ion Pump |||| 2o |||| 2x {*} |||| || || |||| Duct Shield Cooler |||| 2o |||| 2x {*} |||| || || |||| Radiation Shield Cooler |||| 2x |||| → |||| || || |||| Payload Cooler |||| 2x |||| → |||| || || |||| FFUs |||| 13/24 |||| → |||| || || |||| KAOCHs |||| zero |||| → |||| || |
|| |||| Items |||| O4a |||| 6/29 |||| 7/3 || || EYC |||| TMP/Scrolls |||| 4x |||| 3o, 1x {*} |||| → || || |||| Ion Pump |||| 2o |||| 2x {*} |||| → || || |||| Duct Shield Cooler |||| 2o |||| 2x {*} |||| 2o {*} || || |||| Radiation Shield Cooler |||| 2x |||| → |||| → || || |||| Payload Cooler |||| 2x |||| → |||| → || || |||| FFUs |||| 13/24 |||| → |||| → || || |||| KAOCHs |||| zero |||| → |||| → || |
| Line 131: | Line 140: |
| || |||| Items |||| O4a |||| June/29 |||| || || EXA |||| TMP/Scrolls |||| 1x |||| 1o {*} |||| || |
|| |||| Items |||| O4a |||| 6/29 |||| || || EYA |||| TMP/Scrolls |||| 1x |||| 1o {*} |||| || |
| Line 136: | Line 145: |
| || |||| Items |||| O4a |||| June/29 |||| || | || |||| Items |||| O4a |||| 6/29 |||| || |
| Line 139: | Line 148: |
| || |||| Ceiling Lights |||| x |||| → |||| || | || |||| Ceiling Lights |||| 0/1 |||| → |||| || |
[1] Clean booth
[2] Heat Generators
Corner
Corner 1F |
Items |
O4a |
6/30 |
7/1: Cryocoolers Off |
7/6~7:FFU ON in OMC |
7/11 |
||||||
- cooler |
Precision Cooler |
o(19.00) |
→ |
o(23.50) |
o(20.00) |
→ |
||||||
|
Daikin Cooler MCF-C |
x |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
Daikin Cooler BS-C |
x |
o |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
Daikin Cooler SR-C |
x |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
Daikin Cooler IYC-C |
x |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
- light |
Ceiling Lights A |
1/2 |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
Ceiling Lights B |
1/2 |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
Ceiling Lights C |
1/1 |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
Ceiling Lights IXC |
1/2 |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
Ceiling Lights IXA |
1/1 |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
Ceiling Lights IYC |
1/2 |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
Ceiling Lights IYA |
1/1 |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
- heater |
Sunrise Heater BS |
x |
→ |
o L1 |
x |
→ |
||||||
|
Sunrise Heater SR2 |
x |
→ |
o L1 |
x |
→ |
||||||
|
Sunrise Heater OMC |
x |
→ |
o L2 |
o L1 |
→ |
||||||
|
Sunrise Heater PR2 |
x |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
Sunrise Heater DGS |
x |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
Delonghi Heater MCF |
o L2 |
x |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
Sunrise Heater EXC-A |
o L3 |
→ |
→ |
→ |
x |
||||||
- ffu |
SR FFUs |
03/?? |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
BS FFUs |
03/?? |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
PR FFUs |
04/?? |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
MCE FFUs |
01/16 |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
- airdry |
IXC-A Air Dryer |
x |
o |
→ |
→ |
→ |
||||||
- Dehumid |
Mitsubishi IYC-C |
o |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
Mitsubishi BS-C |
o |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
Airis DGS-1 |
o |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
Airis DGS-2 |
o |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
Nakatomi BS |
o |
→ |
→ |
→ |
→ |
||||||
|
Items |
O4a |
6/30 |
|
||||
PSL Room |
Precision Cooler #1 |
o |
→ |
|
||||
|
Precision Cooler #2 |
x |
→ |
|
||||
|
Items |
O4a |
6/30 |
7/3: Cryocoolers ON |
||||
IXC |
TMP/Scrolls |
3 x |
3 o |
→ |
||||
|
Ion Pump |
2 o |
2 x |
→ |
||||
|
Duct Shield Cooler |
2 o |
2 x |
2 o |
||||
|
Radiation Shield Cooler |
2 x |
→ |
→ |
||||
|
Payload Cooler |
2 x |
→ |
→ |
||||
|
FFUs |
??/24 |
→ |
→ |
||||
|
KAOCHs |
zero |
→ |
→ |
||||
|
Items |
O4a |
6/30 |
7/3: Cryocoolers ON |
||||
IYC |
TMP/Scrolls |
3 x |
3 o |
→ |
||||
|
Ion Pump |
2 o |
2 x |
→ |
||||
|
Duct Shield Cooler |
2 o |
2 x |
2 o |
||||
|
Radiation Shield Cooler |
2 x |
→ |
→ |
||||
|
Payload Cooler |
2 x |
→ |
|
||||
|
FFUs |
??/24 |
→ |
→ |
||||
|
KAOCHs |
zero |
→ |
→ |
||||
|
Items |
O4a |
6/30 |
|
||||
IXA |
TMP/Scrolls |
1x |
→ |
|
||||
|
FFUs |
??/10 |
→ |
|
||||
|
Items |
O4a |
6/30 |
|
||||
IYA |
TMP/Scrolls |
1x |
1o |
|
||||
|
FFUs |
??/10 |
→ |
|
||||
|
Items |
O4a |
6/30 |
|
7/11 dehumidifier change |
|||||
IXV |
Air conditioner |
x (weak, 20C) |
o (weak, 20C) |
|
→ |
|||||
|
Delongho Heater |
x |
o L4 |
|
o L3 |
|||||
|
Ceiling Lights |
o |
→ |
|
→ |
|||||
|
TMP/Scrolls |
1x |
1o |
|
→ |
|||||
|
Ion Pump |
1o |
1x |
|
→ |
|||||
|
FFUs |
2 |
→ |
|
→ |
|||||
|
Dehumidifier |
o |
→ |
|
→ |
|||||
|
Items |
O4a |
6/30 |
7/1 |
7/4 |
7/10 |
7/11 |
|||||||
IYV |
Air conditioner |
o (weak, 20C) |
→ |
→ |
→ |
→ |
→ |
|||||||
|
Delongho Heater |
o L4 |
o L2 |
o L1 |
o L2 |
x |
o L1 |
|||||||
|
Ceiling Lights |
o |
→ |
→ |
→ |
→ |
→ |
|||||||
|
TMP/Scrolls |
x |
o |
→ |
→ |
→ |
→ |
|||||||
|
Ion Pump |
o |
x |
→ |
→ |
→ |
→ |
|||||||
|
FFUs |
2 |
→ |
→ |
→ |
→ |
→ |
|||||||
|
Dehumidifier |
o |
→ |
→ |
→ |
|||||||||
EX
|
Items |
O4a |
|
|
||||
EX 1F |
Air conditioner 1 |
x |
|
|
||||
|
Air conditioner 2 |
x |
|
|
||||
|
Ceiling Lights |
0/1 |
|
|
||||
|
Items |
O4a |
|
|
||||
EXC |
TMP/Scrolls |
4x |
|
|
||||
|
Ion Pump |
2o |
|
|
||||
|
Duct Shield Cooler |
2o |
|
|
||||
|
Radiation Shield Cooler |
2o |
|
|
||||
|
Payload Cooler |
2x |
|
|
||||
|
FFUs |
??/24 |
|
|
||||
|
KAOCHs |
zero |
|
|
||||
|
Items |
O4a |
|
|
||||
EXA |
TMP/Scrolls |
1x |
|
|
||||
|
Ion Pump |
1o |
|
|
||||
|
FFUs |
??/10 |
|
|
||||
|
Ceiling Lights |
1/1 |
|
|
||||
|
Items |
O4a |
|
|
||||
EXV |
Air conditioner |
x |
|
|
||||
|
Delongho Heater |
o L3 |
|
|
||||
|
Ceiling Lights |
0/1 |
|
|
||||
|
TMP/Scrolls |
1x |
|
|
||||
|
Ion Pump |
1o |
|
|
||||
|
FFUs |
1 |
|
|
||||
EY
|
Items |
O4a |
6/29 |
7/3 |
7/13 |
|||||
EY 1F |
Air conditioner |
x |
x |
→ |
→ |
|||||
|
Ceiling Lights |
1/1 |
1/1 |
→ |
→ |
|||||
|
Delonghi Heater 1 |
o L5 |
o L2 |
o L1 |
o L2 |
|||||
|
Sunrise Heater 1 |
o L3 |
o L1 |
→ |
→ |
|||||
|
Sunrise Heater 2 |
o L3 |
o L1 |
→ |
→ |
|||||
|
Items |
O4a |
6/29 |
7/3 |
||||
EYC |
TMP/Scrolls |
4x |
3o, 1x |
→ |
||||
|
Ion Pump |
2o |
2x |
→ |
||||
|
Duct Shield Cooler |
2o |
2x |
2o |
||||
|
Radiation Shield Cooler |
2x |
→ |
→ |
||||
|
Payload Cooler |
2x |
→ |
→ |
||||
|
FFUs |
13/24 |
→ |
→ |
||||
|
KAOCHs |
zero |
→ |
→ |
||||
|
Items |
O4a |
6/29 |
|
||||
EYA |
TMP/Scrolls |
1x |
1o |
|
||||
|
FFUs |
5/10 |
2/10 |
|
||||
|
Ceiling Lights |
1/1 |
→ |
|
||||
|
Items |
O4a |
6/29 |
|
||||
EYV |
Air conditioner |
x |
→ |
|
||||
|
Sunrise Heater |
o L2 |
x |
|
||||
|
Ceiling Lights |
0/1 |
→ |
|
||||
|
TMP/Scrolls |
1x |
1o |
|
||||
|
Ion Pump |
1o |
1x |
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