Check list for ETMY vacuum 20171204

Each item should have following format;

Once the item has been checked, it will be like:


Alignment

鏡板閉止

EXAチェンバー周り

真空引き開始前後から冷却開始まで

  1. 真空フランジを開放し、再度閉止した箇所の確認(リーク試験箇所の確定に必要な情報です。)
    • グループ毎の申告による
      • XXX group (2017/XX/XX, who?)
      • XXX group (2017/XX/XX, who?)
      • XXX group (2017/XX/XX, who?)
      • XXX group (2017/XX/XX, who?)
  2. 温度・圧縮機のモニターをスタートさせる (2017/XX/XX, who?)
  3. 真空引き
    1. 真空計2台 ON (2017/XX/XX, who?)
    2. 粗挽きポンプスタート (2017/XX/XX, who?)
    3. ターボポンプ冷却水循環装置スタート (2017/XX/XX, who?)
    4. ターボポンプスタート (2017/XX/XX, who?)
  4. リーク試験 (2017/XX/XX, who?)
    • (リーク判定 < 1x10-10 Pa・m3/s)

  5. 冷却開始
    1. ヘリウム圧縮機用冷却水循環装置 1次冷却水バルブ 開 (2017/XX/XX, who?)
    2. ヘリウム圧縮機用冷却水循環装置 ON (2017/XX/XX, who?)
    3. ヘリウム圧縮機 6台 ON (2017/XX/XX, who?)