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* RMSの情報を書き加える。 * without damping * L:1 um * T:0.9 um * V:0.45 um * R:0.8 urad * P:0.8 urad * Y:0.4 urad * with damping * L:0.2 um * T:0.2 um * V:0.2 um * R:0.4 urad * P:0.5 urad * Y:0.2 urad |
2018/08/22
- アクチュエータの方も対角化を行い、6自由度同時にダンピングフィルターを入れてスペクトルを測定した。それが下図。
ダンピングフィルターがないときに比べ、ピークが小さくなっている。
ひとまず6自由度同時にダンピングすることはできるようになった。
- RMSの情報を書き加える。
- without damping
- L:1 um
- T:0.9 um
- V:0.45 um
- R:0.8 urad
- P:0.8 urad
- Y:0.4 urad
- with damping
- L:0.2 um
- T:0.2 um
- V:0.2 um
- R:0.4 urad
- P:0.5 urad
- Y:0.2 urad