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| * without damping | * without damping（センサーの対角化後） |
2018/08/22
- アクチュエータの方も対角化を行い、6自由度同時にダンピングフィルターを入れてスペクトルを測定した。それが下図。
ダンピングフィルターがないときに比べ、ピークが小さくなっている。
ひとまず6自由度同時にダンピングすることはできるようになった。
- RMSの情報を書き加える。
- without damping（センサーの対角化後）
- L:1 um
- T:0.9 um
- V:0.45 um
- R:0.8 urad
- P:0.8 urad
- Y:0.4 urad
- with damping
- L:0.2 um
- T:0.2 um
- V:0.2 um
- R:0.4 urad
- P:0.5 urad
- Y:0.2 urad