朝入坑してまずおこなう作業

ゲートバルブ

※必ず圧力計をチェックし、「1.0e-4」になっていることを確認してから開ける。 (正確には圧力差がないことを確認する。したがって各場所のゲートバルブを開けるときには、その場所から近い2点の圧力計をチェックする。 ・MC後:MMT の中間のみ ・In-line Pickoff後:MMT の中間と In-line Near クリーンブース内 ・In-line Near後:In-line Near クリーンブース内と In-line arm 中央 ・In-line End手前:In-line arm 中央と In-line End クリーンブース内 ・Per-line Pickoff後:MMTの中間とPer-line Near クリーンブース内 ・Per-line Near後:Per-line Near クリーンブース内と Per-line arm 中央 ・Per-line End手前:Per-line arm 中央と Per-line End クリーンブース内

MC

In-arm 1

  1. In-arm中間に行き、ターボポンプと腕をつないでいるゲートバルブを閉める(黒い直径5cmくらいのノブをくるくる時計回りに回す、きちっと最後まで閉める)
  2. ターボポンプの回転を止めるために灰色のSTOPボタンを押す、電源は切らない
  3. ロータリーポンプの電源スイッチを切る(正面下の中央)
  4. In-arm endに行き、ターゲットをおろす、その際紫のテープの矢印を株の印にあわせる。

Per-arm 1

  1. Per-arm中間に行き2つあるターボポンプと腕をつないでいるゲートバルブをそれぞれ閉める(長さ20cmくらいのノブ、根元につまみがあるのでそれを引っ張っりながらノブを上から見て反時計回りにひねる。かちっと音がするまでひねる)
  2. 2つのターボポンプの回転を止めるために赤いSTOPボタンを押す、電源は切らない
  3. 2つのロータリーポンプの電源スイッチを切る(裏の左の方にある)
  4. Per-arm endに行き、ターゲット板をおろす、その際紫のテープの矢印を株の印にあわせる。

In-arm 2

Per-arm 2

Lockの方法

片付け